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Nano-hamburguesas electrónicas

Una imagen obtenida en el Centro Nacional de Microelectrónica del CSIC obtiene el primer premio de fotografia del congreso internacional Micro-Nano Engineering 2008. La imagen corresponde a unas nanoestructuras, más pequeñas que un cabello humano, y con una inesperada apariencia.

 

La imagen premiada. Autores: Jordi Llobet Sixto (IMB-CNM, CSIC) y Laura Barrachina Saralegui (Baolab Microsystems).La fabricación de microdispositivos nunca deja de dar sorpresas a los diseñadores. Una de las más recientes es esta imagen de "nano-hamburguesas", obtenida en la Sala Blanca del Centro Nacional de Microelectrónica del Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC), y que ha obtenido el primer premio en el concurso de fotografía científica del congreso internacional Micro-Nano Engineering 2008, celebrado en Atenas (Grecia).

Los autores de la imagen son los jóvenes investigadores Jordi Llobet Sixto, del Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM) del Consejo Superior de Investigaciones Científicas, y la investigadora Laura Barrachina Saralegui, de la empresa Baolab Microsystems (Terrassa, Barcelona). La imagen se ha obtenido con un microscopio electrónico de barrido (SEM, en sus siglas en inglés).

Dicha imagen se obtuvo durante la inspección de las estructuras de test, formadas por tres capas de metal, tras el proceso de fabricación de dispositivos micro-electro mecánicos (MEMS, por sus siglas en inglés). Tienen un tamaño de apenas unos 20 o 25 micrómetros, menos incluso que el diámetro de un cabello humano (de 100 micrómetros aproximadamente).

Estas estructuras son, dice el investigador Jordi Llobet, como "detectores", que se sitúan junto a los dispositivos fabricados y permiten comprobar propiedades del proceso de fabricación, tales como el alineamiento entre las máscaras, la calidad de los materiales y los efectos en los bordes de las capas. Entre capa y capa de metal se deposita una fina capa para asegurar la adhesión de los metales. En este caso, la apariencia de hamburguesa con lechuga se ha originado, de forma inesperada, por parte de esta capa de adhesión no ha sido correctamente procesada.

Jordi Llobet forma parte del laboratorio de nanolitografías del IMB-CNM CSIC, y está especializado en procesos de nanofabricación mediante haces de iones focalizados (FIB en siglas en inglés). Laura Barrachina trabaja en Baolab Microsystems S.L., dedicada a diseño y aplicaciones de micro-relés electroestáticos metal-metal, de bajo voltaje, basados en tecnologías MEMS.

Enlaces externos:

Congreso Internacional Micro-Nano Engineering 2008

Centro Nacional de Microelectronica del CSIC